GDF9304 型MEMS熱式質量流量芯片

簡介
GDF9304流量傳感芯片是根據(jù)熱力學原理對流經(jīng)芯片表面的氣體流量進行測量的。所有的焊盤均拉至一側以便于封裝。此外采用低熱源電阻,使其可以在低至5V電壓下工作,所以芯片功耗低。芯片敏感區(qū)域由一個加熱電阻和兩組熱電堆構成,熱電堆分布在加熱電阻兩端作為上游和下游,當有氣體流過時,上游熱量被帶走而冷卻,下游有熱量輸送而被加熱,熱量分布不再對稱,以上下游熱電堆的輸出電壓之差作為傳感器的輸出,提高了測量精度,降低誤差。
產(chǎn)品特征
- 小流量段靈敏度高
- 零點漂移小
- 響應時間快
- 耐振動、壓力和熱沖擊
- 耐流動介質中粉塵顆粒引起的磨損
- 信號調(diào)理電路簡單
應用領域
- 醫(yī)學領域:麻醉機,呼吸機,肺活量計,呼吸器,制氧機。
- 空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)(HAVC)
- 汽車發(fā)動機中的空氣流量傳感器